Fotolitografia é comumente usada para produzir chips de computador. Ao produzir chips de computador, o material do substrato é uma pastilha de silício coberta com resistência. Este processo permite que centenas de chips sejam construídos simultaneamente em uma única pastilha de silício.
Como é feita a fotolitografia?
Fotolitografia usa três etapas básicas do processo para transferir um padrão de uma máscara para um wafer: revestir, revelar, expor. O padrão é transferido para a camada superficial do wafer durante um processo subsequente. Em alguns casos, o padrão de resistência também pode ser usado para definir o padrão para um filme fino depositado.
Por que se chama fotolitografia?
Litografia de Semicondutores (Fotolitografia) - O Processo Básico . A fabricação de um circuito integrado (CI) requer uma variedade de processos físicos e químicos realizados em um substrato semicondutor (por exemplo, silício). … A palavra litografia vem do grego lithos, que significa pedras, e graphia, que significa escrever.
Por que a litografia é importante?
Litografia é o processo de transferência de padrões de formas geométricas em uma máscara para uma fina camada de material sensível à radiação (chamado resist) cobrindo a superfície de uma pastilha semicondutora. A Figura 5.1 ilustra esquematicamente o processo litográfico empregado na fabricação do CI.
Qual é o método mais utilizado em métodos litográficos?
Ópticalitografia é uma técnica baseada em fótons que consiste em projetar uma imagem em uma emulsão fotossensível (fotorresistente) revestida em um substrato como uma pastilha de silício. É o processo de litografia mais utilizado na fabricação de alto volume de nanoeletrônicos pela indústria de semicondutores.
