Fotolitografia é um processo usado na microfabricação para transferir padrões geométricos para um filme ou substrato. Formas e padrões geométricos em um semicondutor compõem as estruturas complexas que permitem que os dopantes, propriedades elétricas e fios completem um circuito e cumpram um propósito tecnológico.
Qual é o processo de fotolitografia?
Fotolitografia, também chamada de litografia óptica ou litografia UV, é um processo usado na microfabricação para modelar peças em um filme fino ou a maior parte de um substrato (também chamado de wafer). … Em circuitos integrados complexos, um wafer CMOS pode passar pelo ciclo fotolitográfico até 50 vezes.
Quais são os processos de microfabricação?
Microfabricação é o processo de fabricação de estruturas em miniatura de escala micrométrica e menor. … Os principais conceitos e princípios da microfabricação são microlitografia, dopagem, filmes finos, gravura, colagem e polimento.
O que é processo de litografia em semicondutores?
Um sistema de litografia de semicondutores realiza um processo pelo qual padrões de circuito altamente complexos desenhados em uma fotomáscara feita de uma grande placa de vidro são reduzidos usando lentes de ultra alto desempenho e expostos em um substrato de silício conhecido comouma bolacha. …
O que é litografia no processo de fabricação?
Litografia éo processo de transferência de padrões de formas geométricas em uma máscara para uma fina camada de material sensível à radiação (chamado resist) cobrindo a superfície de uma pastilha semicondutora. A Figura 5.1 ilustra esquematicamente o processo litográfico empregado na fabricação do CI.
