No caso da litografia semicondutora (também chamada de fotolitografia) nossas pedras são silicon wafers e nossos padrões são escritos com um polímero sensível à luz chamado fotorresistente.
O que você entende por fotolitografia?
Fotolitografia, também chamada de litografia óptica ou litografia UV, é um processo usado na microfabricação para padronizar peças em um filme fino ou a maior parte de um substrato (também chamado de wafer). … Este método pode criar padrões extremamente pequenos, com algumas dezenas de nanômetros de tamanho.
Por que a litografia é usada na fabricação de semicondutores?
Fotolitografia é um processo utilizado na microfabricação para transferir padrões geométricos para um filme ou substrato. Formas e padrões geométricos em um semicondutor compõem as estruturas complexas que permitem que os dopantes, propriedades elétricas e fios completem um circuito e cumpram um propósito tecnológico.
Qual é o objetivo da fotolitografia?
Fotolitografia é um dos métodos mais importantes e fáceis de microfabricação, e é usado para criar padrões detalhados em um material. Neste método, uma forma ou padrão pode ser gravado através da exposição seletiva de um polímero sensível à luz à luz ultravioleta.
O que é equipamento de litografia semicondutora?
Equipamento de litografia semicondutor é usado na fase de exposição do chip semicondutorprocesso de fabricação. … Equipamentos de litografia de semicondutores usam uma lente de projeção para reduzir o padrão do circuito, que é escrito em uma placa original chamada retículo, e expor o padrão em um wafer.
